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本实用新型为显影液恒温管路系统，包括恒温箱、出水管、回水管和显影液管，所述恒温箱下方一端与所述出水管连接，所述恒温箱下方另一端与所述回水管连接，所述恒温箱正面固定有补水阀，所述出水管一端固定有第一分液开关，所述第二分液开关与所述出水管相匹配，所述显影液管端部固定有喷头，所述喷头设置在所述第二分液开关下方，该显影液恒温管路系统，可以自动控制恒温箱内的温度，通过警示装置可以提醒工作人员及时对恒温箱内进行补水，通过调节压力泵，可以控制水循环速度，使输入的显影液温度与喷出的显影液温度将近一致，进一步的提
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214098111 U
(45)授权公告日 2021.08.31
(21)申请号 202022585265.6
(22)申请日 2020.11.10
(73)专利权人 芯米（厦门）半导体设备有限公司
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