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本实用新型公开了一种PL检测仪，包括壳体、相机、上光源组、下光源组、检测平台、多组透明细线、图像传输控制线、图像控制处理一体机；本实用新型通过透明细线支撑的方式承接硅片，避免了检测过程可能对硅片造成的二次污染，且透明细线的使用让硅片上下都有PL激发光源成为可能，实现了PL检测效果最佳化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214150439 U
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202022146567.3
(22)申请日 2020.09.27
(73)专利权人 无锡市瑞能科技有限公司
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