一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备.pdfVIP

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2023-04-05 发布于北京
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一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备.pdf

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本实用新型公开了一种可兼容横竖电极板的腔体真空等离子设备，用于对样品进行等离子处理，包括机架，机架上设有等离子电源、抽真空泵，机架内还设有一真空腔体，真空腔体内设有可拆卸的由横电极板或/和竖电极板构成的电极板组件，电极板组件由真空腔体开口处推入；抽真空泵与真空腔体导通，启动抽真空泵使得真空腔体处于真空状态；真空腔体的进气孔通过气管与供气设备连接；等离子电源连接一匹配器，匹配器通过电极件与横电极板或竖电极板连接。该等离子设备可实现对不同类型样品等离子处理需求，人工成本降低、生产效率提高、处理清洗效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214125594 U (45)授权公告日 2021.09.03 (21)申请号 202120229963.4 (22)申请日 2021.01.27 (73)专利权人东莞市晟鼎精密仪器有限公司