一种硅片取放机械臂移动机构.pdfVIP

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2023-04-05 发布于北京
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一种硅片取放机械臂移动机构.pdf

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本实用新型涉及硅片传输技术领域，涉及一种硅片取放机械臂移动机构。本实用新型具有结构简单、合理，自动化程度高，运行速度更快等优点，其通过移动组件带动两升降组件做直线运动，两升降组件分别带动左吸盘部件、右吸盘部件做往复升降运动，实现取片吸盘在三维空间内直取斜插或斜取直插等动作，硅片传输更加稳定，同时移动组件带动两升降组件，可以更快捷的对左吸盘部件、右吸盘部件做组合动作或者分开动作，避免原机械固定角度带来合片时容易划伤硅片的缺陷，有效提高硅片传输效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214136041 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202021839802.9 C30B 35/00 (2006.01) (22)申请日 2