一种增加真空度的装置.pdfVIP

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2023-04-05 发布于北京
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一种增加真空度的装置.pdf

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本实用新型涉及一种增加真空度的装置，包括装置系统主体，所述装置系统主体内设有真空泵系统盘面，所述真空泵系统盘面上安装有原气动阀组件，所述原气动阀组件包括原气动阀件AV、原气动阀件CV和原气动阀件VG，所述原气动阀组件的一侧安装有新增气动阀组件，所述新增气动阀组件包括新增气动阀件AV、新增气动阀件AV和新增气动阀件AV，在原本盘面上只有普通的真空发生器装置以及原气动阀组件的部分，换钢瓶前会进行盘面抽真空吹扫，这时候只会有真空发生器动作，达到盘面抽真空的目的，但实际情况并不能满足制程工艺的真空度，故

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214147429 U (45)授权公告日 2021.09.07 (21)申请号 202021997737.2 (22)申请日 2020.09.14 (73)专利权人上海吉威电子系统工程有限公司