一种非连续基底结构声表面波滤波器.pdfVIP

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2023-04-06 发布于北京
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一种非连续基底结构声表面波滤波器.pdf

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本实用新型提供了一种非连续基底结构声表面波滤波器，包括以下结构：1)衬底层；2)设置在所述衬底层上压电薄膜层和其中包含的声阻抗非连续层；3)设置在所述压电薄膜层上的叉指换能器。通过本实用新型的方案，可以在声表面波器件(SAW)传播路径上改变声阻抗条件或者进行周期性设计，对声表面波传播特性进行调制，从而最终实现声表面波滤波器的品质因子(Q值)，带宽以及插入损耗等性能指标的提升。本实用新型中采用压电薄膜，相比于传统单晶材料，价格更加低廉，并且无论采用剥离，还是刻蚀工艺都很容易制备出非连续声阻抗的空隙

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215418219 U (45)授权公告日 2022.01.04 (21)申请号 202120607256.4 (22)申请日 2021.03.25 (73)专利权人奥