一种晶圆化镀机多功能机械手.pdfVIP

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2023-04-07 发布于北京
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一种晶圆化镀机多功能机械手.pdf

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本实用新型涉及晶圆化镀机技术领域，公开了一种晶圆化镀机多功能机械手，包括：基板、滑动连接在所述基板上的滑座以及设置在所述滑座上的两根防护侧板；其中两根所述防护侧板的端部均通过销杆与滑座上面活动铰接，位于所述滑座上面中间位置固定有内螺纹管；两根所述防护侧板的下端部均安装有一个拉簧，且拉簧另一端与滑座上面固定。本实用新型在实际操作时即使防护侧板受到碰撞时，也会通过拉簧以及橡胶板进行缓冲，当碰撞力度较大时，也会通过防护侧板内壁上部的橡胶护垫会贴合在机械臂上形成进一步的缓冲作用，这种防护侧板的防护面积更

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215451376 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121747937.7 (22)申请日 2021.07.29 (73)专利权人四川矽芯微科技有限公司