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本实用新型涉及用于生产高品质多晶硅的还原循环氢气深冷除杂的装置。本装置包括：除硼磷烷吸附柱、硼磷烷‑氢气一级气气换热器、硼磷烷‑氢气二级气气换热器、硼磷烷深冷器、硼磷烷‑氢气二级气气换热分相罐、硼磷烷深冷气气换热分相罐、硼磷烷‑氯化氢吸收塔、硼磷烷‑氯化氢吸收塔进气气冷器、硼磷烷‑氯化氢吸收塔进气预冷器、硼磷烷‑氯化氢‑氢气解吸塔、还原尾气凝液罐、吸收塔进料凝液罐、还原尾气液冷器和活性炭吸附塔。装置的主要部分是硼磷烷‑氯化氢吸收塔塔顶出料经三级冷却后分离的气相和液相可给一级气气换热器、二级气气换
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215439670 U
(45)授权公告日 2022.01.07
(21)申请号 202121766215.6
(22)申请日 2021.07.30
(73)专利权人 天津大学
地址 3
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