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本实用新型公开了一种新型晶圆片筐，结构包括左壁、右壁、顶板、连接杆，其中顶板与连接杆均固定连接于左壁与右壁之间，左壁与右壁相互对应且结构对称，以左壁为例，左壁的内侧自上而下间隔设有一定数量的扁平状的凸起一，相邻的凸起一之间形成一个片筐槽一，凸起一的前端还设有一个斜面，左壁上位于最上端的凸起一的顶部还设有一个长条形的凸起二，顶板的两端分别固定连接于左壁与右壁的凸起二上，连接杆的两端分别固定连接于左壁和右壁的下部，并位于最底端的凸起一的下方，右侧壁与左侧壁的外侧面均设有一个方形的凹陷，本实用新型使每
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215451360 U
(45)授权公告日 2022.01.07
(21)申请号 202121866562.6
(22)申请日 2021.08.11
(73)专利权人 吉林华微电子股份有限公司
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