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2023-04-07 发布于北京
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本实用新型提供一种丝网印刷系统，包括：载台，半导体器件的第一栅线适于与载台的第一区接触；丝网印版，丝网印版适于在载台处于初始位置时位于载台的第二区的上方；位于载台上方的图像传感装置，图像传感装置适于获取当载台处于初始位置时半导体器件至丝网印版的第一位置信息；分别设置于载台的第一区的上下两侧的检测光发射部件和检测光接收部件，用以获取第一栅线在半导体器件中的第二位置信息；载台和/或丝网印版适于根据第一位置信息和第二位置信息移动，使丝网印版的待印刷图案与第一栅线对准。该丝网印刷系统能够以对准之后的丝网

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215435515 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202121786391.6 H01L 31/18 (2006.01)