一种管式PECVD辅助加热棒.pdfVIP

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2023-04-07 发布于北京
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一种管式PECVD辅助加热棒.pdf

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本实用新型提供一种管式PECVD辅助加热棒，属于PECVD设备技术领域，更具体地涉及一种管式PECVD炉腔内辅助加热棒的结构。包括辅助加热棒、温度控制器、电源和壳体，辅助加热棒包括高温护套管、高温电热丝、高温导热绝缘层；高温电热丝、第一不发热电极和第二不发热电极均设置于高温护套管内，第一不发热电极和第二不发热电极均与高温电热丝电性连接，壳体与辅助加热棒相靠近的一端开设有安装槽，通过对温度控制器的调节，来控制整个辅助加热棒的温度，无需外部温度控制，提高使用安全性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215440678 U (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202120300353.9 (22)申请日 2021.02.03 (73)专利权人江苏奥崎电气科技有限公司