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本实用新型提供一种超快激光打孔装置,激光源发生装置与光束整形器匹配连接,光束整形器的光束出光孔与多边形转镜组件的输入端相匹配设置,多边形转镜组件的输出端与反射振镜组件的输入端水平共线,反射镜组件的输出端与f‑θ聚焦透镜组的输入端垂直共线,f‑θ聚焦透镜组的输出端与激光加工靶面相匹配设置;工控机控制激光源发生装置发出激光,实现激光脉冲重复频率与扫描位置信号完成同步。偏转后的激光通过f‑θ聚焦透镜组聚焦到激光加工靶面上,实现超快速激光同步打孔,降低脉冲有效频率,有效减少由于超快激光打孔过程中过高的重
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215432111 U
(45)授权公告日 2022.01.07
(21)申请号 202120977350.9
(22)申请日 2021.05.08
(73)专利权人 济南森峰激光科技股份有限公司
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