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本实用新型涉及防连片的硅片竖向送片装置包括：支架、分别转动安装在支架顶部和底部的主动轮组件和从动轮组件、对称安装在主动轮组件和从动轮组件上的吸片皮带，吸片皮带上设有不少于一组的吸孔组，吸孔组包括多个吸片孔，吸孔组的长度不大于硅片的长度，且相邻的吸孔组之间的间距不小于硅片的长度；以及固定在支架上吸水座和对此固定在支架底部两侧的吸片块，吸水座上设有与吸片孔相对应的吸水孔以及位于两个吸片皮带之间的吹气孔，且吹气孔不少于一个；吸片块上设有吸附孔。该装置能实现硅片依次输送，有效解决了硅片成串送片的问题，使
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215578474 U
(45)授权公告日 2022.01.18
(21)申请号 202121933169.4
(22)申请日 2021.08.17
(73)专利权人 无锡喆创科技有限公司
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