一种微电子器件加工用干燥器.pdfVIP

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2023-04-12 发布于北京
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一种微电子器件加工用干燥器.pdf

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本实用新型涉及微电子干燥技术领域，具体地说，涉及一种微电子器件加工用干燥器，包括干燥机，干燥机包括壳体，壳体包括干燥箱，干燥箱转动连接有箱门，干燥箱开设有干燥仓和间接仓，间接仓开设有连通口，干燥仓设有加热仓，加热仓设有直接体，直接体包括电热棒，间接仓设有间接体，间接体包括通鼓风机，鼓风机连通有进风板，鼓风机连通有出风板。本实用新型的优点是便于对微电子器件进行干燥，去除如水等导电液体。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215571731 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202122097888.3 (22)申请日 2021.09.01 (73)专利权人青岛海博瑞微电子研究所有限公