一种大尺寸硅片脱胶机喷淋装置.pdfVIP

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2023-04-12 发布于北京
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一种大尺寸硅片脱胶机喷淋装置.pdf

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本实用新型公开一种大尺寸硅片脱胶机喷淋装置，包括喷淋槽底板、喷淋管组和传动机构，所述喷淋槽底板的前后两侧均焊接有短侧板，在喷淋槽底板的左右两侧均焊接有长侧板，所述喷淋槽底板上表面与短侧板和长侧板的内表面组成了脱胶槽，在脱胶槽的内部设有喷淋管组，所述喷淋管组在脱胶槽的内壁顶端由上至下依次分为第一喷淋管、第二喷淋管和第三喷淋管，在每根喷淋管的表面均等间距安装有喷头；本实用新型通过设置对称的喷淋管组在使用时可通过不同喷射角度的喷淋管配合后期连接增压设备调整每根喷淋管的喷淋压强，就可以实现多角度不同压力

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215543189 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202122118205.8 B08B 3/14 (2006.01)