一种真空基座.pdfVIP

下载本文档

2
0
约4.27千字
约 5页
2023-04-13 发布于北京
举报
版权申诉

一种真空基座.pdf

1、本文档共5页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种真空基座，属于半导体治具的技术领域。其真空基座（2）设置于基座本体（1）的上方，所述真空基座（2）的上表面开设若干条与真空基座（2）的长边平行的真空槽（23），所述真空槽（23）分两列，分别偏向于真空基座（2）的短边设置，其内设置复数个真空孔（25），所述真空孔（25）与真空基座（2）内部的横向的真空通道（21）连接，其真空密封结构沿真空基座（2）的周向设置，并与真空基座（2）固连，呈环形，其高度不小于基板的载板的最高单角翘曲高度，使得载板通过真空基座（2）稳稳吸住，从而克服

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215644438 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202121674311.8 (22)申请日 2021.07.22 (73)专利权人星科金朋半导体（江阴）有限公司