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本实用新型公开了一种碳化硅籽晶贴片机，包括机架、位于所述机架上的加工台、位于所述加工台上的供料盒、位于所述加工台中心位置处的移载机械臂、用于晶片滴胶的滴胶组件、用于晶片烘烤的烘烤组件以及用于晶片贴片的贴料组件；所述移载机械臂能够实现晶片在供料盒、滴胶组件、烘烤组件以及贴料组件之间进行来回移载；所述滴胶组件包括安装架、容纳壳体、真空吸盘、驱动模组以及滴胶阀；所述烘烤组件包括烘烤罩体、烤盘以及顶柱；所述贴料组件包括贴料定心台、移载结构、贴料气缸以及升囊。本实用新型实现了对碳化硅籽晶的贴片操作，无需人
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215628423 U
(45)授权公告日 2022.01.25
(21)申请号 202121810451.3
(22)申请日 2021.08.04
(73)专利权人 拓思精工科技（苏州）有限公司
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