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本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片的检测装置。该用于碳化硅晶片的检测装置包括支撑架;设置于支撑架上的晶片支撑组件,晶片支撑组件包括托板和支撑台,托板上设有第一透光孔、晶片支撑台阶和避让槽,晶片支撑台阶沿第一透光孔的圆周开设,并且晶片支撑台阶能够与碳化硅晶片的外圆周相配合;以及用于检测碳化硅晶片的目镜。由于晶片支撑台阶沿第一透光孔的圆周开设,晶片支撑台阶能够与碳化硅晶片的外圆周相配合,因此,晶片支撑台阶能对碳化硅晶片进行定位,限制碳化硅晶片的移动,减少碳化硅晶片的污染和损伤,同时,第一透光孔的设计
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215599041 U
(45)授权公告日 2022.01.21
(21)申请号 202122102247.2
(22)申请日 2021.09.01
(73)专利权人 江苏天科合达半导体有限公司
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