面射型激光器.pdfVIP

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2023-04-13 发布于四川
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面射型激光器.pdf

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本实用新型公开了一种面射型激光器，包括自上而下设置的正面电极、接触层、P型DBR、限制层、谐振区、N型DBR、衬底和背面电极，P型DBR由若干高折射率层和低折射率层交替堆叠而成，其中至少部分低折射率层包括位于中部的第一折射率区域和位于外围的第二折射率区域，第二折射率区域的折射率低于第一折射率区域，且由正面电极至谐振区方向至少部分低折射率层的第二折射率区域在衬底上的投影边缘与其所在一侧的外围边缘的距离依次减小。本申请通过第二折射率区域与第一折射率区域的折射率差异控制VCSEL激光器发光的发散角，省

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215645423 U (45)授权公告日 2022.01.25 (21)申请号 202121366331.9 (22)申请日 2021.06.18 (73)专利权人厦门市三安集成电路有限公司