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本实用新型公开了半导体制造领域内的一种料盘挡板卡锁治具,包括可转动地安装在旋转轴上的料盘,旋转轴的前端穿过前面侧板并向前伸出,所述旋转轴的伸出端套设有与侧板相贴合的挡板,挡板中部开设有与旋转轴相匹配的中心孔一,所述挡板前侧固定连接有安装块,安装块的中部开设有可容旋转轴穿过的中心孔二,所述安装块的一侧开设有按压槽,按压板对应插入按压槽设置,按压槽内设置有与按压板相对应的弹性复位机构,所述安装块内对应中心孔二开设有移动槽,移动槽内设置有与按压板相联动的限位板,限位板与中心孔二相对应设置;所述挡板上设
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215648082 U
(45)授权公告日 2022.01.25
(21)申请号 202121759059.0
(22)申请日 2021.07.30
(73)专利权人 江苏汇成光电有限公司
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