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高透TPITO技术交流 研发中心/ITO镀膜四线 2007.4.4 AR膜 AR膜与AR玻璃 AR膜的作用 AR ITO玻璃的种类 单面三层AR膜 单面三层AR膜 复折射率 模拟实验 T光谱曲线和颜色 颜色坐标 颜色是一种直观的心理感受，通过颜色来检验膜层实际上是间接检验膜层的T、R光谱和膜厚的均匀性。通过颜色匹配函数，可将T、R光谱转换成相应的透射色坐标和反射色坐标。 常用的色坐标系有CIE 1931 XYZ和CIE 1978 L*a*b*。不同色坐标系之间可以相互转换。 CIE 1931 XYZ CIE 1976 L*a*b* TiO2对T光谱的影响 三层膜中TiO2层的厚度为9-16nm。TiO2层的厚度越厚，T光谱曲线会变窄，即中间高，两边低，决定了最高透过率。虽然TiO2层的厚度变化也会引起峰值波长偏移(厚，峰右移；反之，左移)，但由于膜厚远较SiO2层薄，影响不大。 TiO2对颜色的影响 SiO2对T光谱的影响 三层膜中SiO2层的厚度为100nm左右，比其余两层厚的多，因此其厚度决定了峰值波长位置，越厚峰值波长右移，反之左移。 SiO2对反射色的影响 膜厚均匀性 光泽度——Gloss 反射雾度——Haze 透射雾度、清晰度 实际生产调试过程 一、透过率调试 二、颜色调试 三、均匀性调试 四、面阻调试 透过率的调试过程 1，通过计算机模拟膜厚看模拟膜系透过率，然后按照膜厚做产品 2，试验过渡态SiO2和过氧态SiO2透过率差别，结论为透过率上达到理想要求 3，看透过率曲线来调试高透产品 颜色调试 颜色调试主要看反射率L、a*、b*值来调试，因为透过率颜色值相差太小，对实际颜色调试的把握难度较大。 调试出的颜色有： 浅黄-浅红-紫红-深紫红-蓝色 透过率以上由低到高 均匀性调试 通过修改屏蔽罩来实现 通过看透过率曲线发现不均匀因素来自于TiO2膜厚 通过修改其屏蔽罩达到了反射光颜色均匀的效果 面阻调试 由于SiO2镀层较厚，1000埃左右，所以在面阻均匀性上调试相对较难，由于影响因素较多。目前面阻能控制在横向35欧、纵向65欧 * * Glass Transmittance Absorption Reflectance R+A+T=1 T=1-R-A 无法改变玻璃本身的吸收率，只能通过降低玻璃两面的反射率，提升透射率，即所谓“减反增透”——Antireflection (AR)。 玻璃有2个反射面。 一次反射 二次反射 光在玻璃中的传播 Incident Light Glass Reflection Incident Light AR AR膜工作原理：光是电磁波，是能量，通过匹配AR膜的折射率、厚度，使光波在AR膜中产生多光束干涉——上表面相消干涉，下表面相长干涉。 相消干涉：光程差=n.λ，n为整数。 相长干涉：光程差=n.(λ/2)，n为整数。 相对于AR膜的厚度，玻璃的厚度可以看作无穷大，但AR膜的透射率≠AR玻璃的透射率，玻璃有2个反射面，玻璃本身还有吸收。 nd 玻璃单面镀AR，透过率的理论极限值为95.9%。 Glass Light Source Background Light 增亮：增加有用光(Light Source)的出射。 增加对比度：减少干扰光(Background Light)的反射。 防眩Antiglare (AG)：减少眩光(直接和反射)，增加漫射，有雾度要求。 Specular Reflectance Diffuse Reflectance Glass ITO TiO2 SiO2 12nm，导电膜，有吸收；膜厚不可调 10nm，光学介质膜，无吸收；膜厚可调 1000nm，光学介质膜，无吸收；膜厚可调 三层膜中，ITO(n=2)厚度一定，只能靠调节SiO2(n=1.4)和TiO2(n=2.4)厚度获得增透效果，但前提是保证SiO2和TiO2的折射率和极低的吸收率，MF需调整到过氧状态。 折射率n和消光系数k都是波长的函数。对透明介质，n随波长λ的增加而减小，k反映了介质对光波的吸收。 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 Index K 2.25 2.2738 2.293 2.3148 2.3417 2.3667 2.4019 2.4362 2.4781 2.5212 2.5757 Index N 900 773.1 682.2 612.2 557.4 512.1 476.4 446 421.3 400.1 383.2 Wavelength Nb2O5 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 Index K 2.312 2.322 2.327 2.337 2.351 2.385 2.422 2.469