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本实用新型公开清洗机单边抛动机构,涉及硅片清洗机领域。该清洗机单边抛动机构,包括放置架和驱动电机,放置架的上表面设有插片花篮,放置架的背面固定安装有固定条,固定条的外表面两侧均固定安装有限位组件,驱动电机的输出端固定安装有偏心轮,偏心轮的上方设有抛动顶块。该清洗机单边抛动机构,在使用时,通过启动驱动电机,使得驱动电机带动偏心轮进行转动,此时偏心轮将抛动顶块重复向上顶起,使得插片花篮在放置架的上表面竖直发生震荡,实现在冲洗的过程中进行震颤,方便将硅片与插片花篮贴合处的杂质震颤出来,提升硅片整体的清
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215696292 U
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202122422694.6
(22)申请日 2021.10.08
(73)专利权人 上海珺竹精密机械有限公司
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