一种电子晶圆检测用清洗机.pdfVIP

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2023-04-18 发布于北京
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本实用新型是关于一种电子晶圆检测用清洗机，包括底座，底座表面设置有圆盘，所述圆盘的两侧壁均连接有侧台，所述圆盘的表面斜对称设置有固定套，所述固定套的内部滑动连接有固定架，所述固定架位于固定套上侧的表面设置有横板，两个所述横板相对的表面均设置有齿条，两组所述齿条之间啮合有齿轮，所述齿轮的底部连接有电机B，所述电机B位于底座的下侧，两个所述固定架的顶部均设置有固定座，本实用新型中通过设置底座、圆盘、侧台、固定架、固定座、弧形台、卡槽、电机A、电机B、齿条、齿轮、横板以及电动导轨等结构设计了一种对晶圆

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215815788 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121660091.3 (22)申请日 2021.07.21 (73)专利权人无锡芯启博科技有限公司