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本实用新型公开了一种超导高功率厚石墨膜碳化烧结系统,包含烧结炉;所述烧结炉与过滤器连通;所述过滤器与第一过滤桶连通;所述第一过滤桶与第二过滤桶连通;所述第二过滤桶与第三过滤桶连通;所述第三过滤桶通过真空阀与罗茨泵连通,同时所述第三过滤桶还通过真空阀与真空泵连通;所述第一过滤桶内设置有多个相互平行设置的过滤装置;第二过滤桶内也设置有多个相互平行设置的过滤装置;本实用新型所述的超导高功率厚石墨膜碳化烧结系统能充分将杂质排除的同时还能将焦油吸附掉,而且真空泵的换油频率低、真空泵运行过程中不易卡泵。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215810099 U
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202121607441.X B01D 46/10 (2006.01)
(22)申请日 2
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