一种侧向加料的单晶炉.pdfVIP

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本实用新型实施例提供了一种侧向加料的单晶炉,单晶炉包括:炉体、加料装置以及设于炉体内的保温层、密封件、坩埚和升降装置,保温层位于坩埚与炉体之间,其中,炉体的侧部开设有第一通孔,保温层与第一通孔相对的位置开设有第二通孔;升降装置与密封件连接,用于带动密封件在上升状态和下降状态之间切换,在上升状态下,密封件上升,加料装置可穿过第一通孔和第二通孔与坩埚开口处相对,在下降状态下,密封件下降,密封件可密封第二通孔。本实用新型实施例中的单晶炉可以提高热场寿命,降低非加料情况下的热能损失,稳定炉体内的温度场和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215800033 U (45)授权公告日 2022.02.11 (21)申请号 202121616480.6 (22)申请日 2021.07.15 (73)专利权人 隆基绿能科技股份有限公司

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