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本发明公开了一种管接头内带限流垫片的工艺管，包括气液供管，气液供管的一端套接于流量计的一端，流量计的另一端套接于连接管的一端，所述连接管的一端卡接在管接头一端的内部，所述管接头的另一端卡接有工艺腔室连接管，所述工艺腔室连接管的另一端连接在工艺腔室上。应用于半导体和光伏领域扩散炉，氧化炉等管式设备，对流量非常小的气体或液体更精确输送的办法和结构，很好的解决了微小流量的气体或液体输送时出现不连续的情况，使得微小流量的供气或供液通过限流垫片的微小孔时可以实现穿过小孔的过程中具有的增压作用，形成带有一定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215862148 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121611498.7
(22)申请日 2021.07.15
(73)专利权人 青岛赛瑞达电子科技有限公司
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