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本实用新型公开一种腔体阀真空度和振动测试治具,包括控制模块、氦测仪、加速度计、控制单元;控制模块通过网络与控制单元连接;控制单元通过线路与真空度仪连接;控制单元通过线路与电磁阀输入端连接,电磁阀输出端与加速度计连接;加速度计与控制单元之间并联连接有第一传感器和第二传感器;加速度计布置于测试腔体上部的被测腔体阀外侧;测试腔体输出端通过管路与氦测仪连接;在输出管路上设有真空度仪和开关阀门。可以方便快捷输出测试结果,避免了手动计量和读取参数可能导致的错误,保证了测试结果的准确性。极大的提高了腔体阀往复
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215865309 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121828177.2
(22)申请日 2021.08.06
(73)专利权人 沈阳富创精密设备股份有限公司
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