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本实用新型涉及半导体技术领域,且公开了一种晶圆再生用表层膜剥离装置,包括主机,所述主机的顶部铰接有防护盖,所述主机的顶部设置有工作盘,所述主机通过连杆连接有固定框,所述固定框的左侧与防护盖右侧固定连接,所述固定框通过轴承连接有丝杆。该晶圆再生用表层膜剥离装置,通过主机、工作盘、防护盖、固定框、轴承、丝杆、定位杆、移动板、真空吸盘、伺服电机、主齿轮、从齿轮、连通槽、抽气管、微型气泵、通槽、固定轴、扭簧和挡板之间的相互配合,达到了便于晶圆上下料,降低晶圆表面沾染灰尘杂质概率的效果,解决了现有晶圆撕膜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215869331 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121964217.6
(22)申请日 2021.08.20
(73)专利权人 上海申和投资有限公司
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