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本实用新型公开了一种磁控溅射生产线罐体旋片泵，本实用新型在使用时，定子和旋片配合将气缸内分隔为三个区域，旋片逆时针转动时从进气口抽气，并从出气口排气，将进气口对接太阳能管的需要抽真空的区域，从而实现抽气和排气实现抽真空；活动板套设在固定板上构成活塞结构以实现伸缩，牵引电磁铁排斥永磁片以向外推活动板，在磁推力的作用下，活动板始终具有向外伸长趋势，从而贴紧气缸内壁以分隔三个区域；通过磁推动的方式使得旋片推紧在气缸内壁上，在活动板活塞伸缩往复运动中，只有无接触式的磁力推动，从而避免了机械往复结构的不可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215860785 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121960120.8 F04C 29/12 (2006.01)
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