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本实用新型涉及等离子体光源技术领域,尤其涉及一种激光维持用等离子体光源腔体,包括石英腔体、电极连接体、腔体内的填充气体;所述石英腔体包括封接区和球泡;所述封接区为与所述球泡的端部连通的管状体,所述球泡的内腔为电离腔;所述石英腔体中封装一个或多个用于等离子体触发的电极连接体,所述电极连接体包括导电柱、钼片、电极体,所述电极体的头端设置有电极头,所述电极头的头部呈锥形的尖端,所述电极体的尾端依次焊接钼片、导电柱,所述电极头位于球泡内部,所述钼片位于封接区的压封位置,所述导电柱位于石英腔体外部。可实现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215869281 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202120612608.5
(22)申请日 2021.03.26
(73)专利权人 常州市纽菲克光电制造有限公司
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