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本实用新型提供一种新型真空炉供气排气系统,包括工艺气体进气管道、工艺气体进气阀、质量流量计、工艺气体出气阀、第一单向阀、第一三通接头、惰性气体进气管道、惰性气体进气阀、压力调节控制器、惰性气体出气阀、气体供气连接管道、真空反应腔、真空管道、真空规管、压力检测传感器、泄压阀、真空机组、气体排气管道、超压排气阀、自动排气阀,本实用新型具有如下的有益效果:能够实现反应腔抽真空后,根据工艺指标需要进行气体流量和压力的设定,充气时能进行流量和压力的自动控制,而且带有压力上限保护及泄压保护功能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215864581 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121927635.8
(22)申请日 2021.08.17
(73)专利权人 青
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