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本专利涉及一种太赫兹矢量涡旋量子级联激光器,包括衬底、位于衬底上方的键合金属层,键合金属层的上方设有沿激光器的长度方向排布且彼此相连的种子激光区和总线波导,总线波导的一侧设有沿激光器的长度方向排布且彼此间隔开的谐振环和过渡电极,谐振环和过渡电极之间架设有金属空气桥,并且种子激光区的端部以及总线波导的端部设有吸收边界。本专利还提供一种太赫兹矢量涡旋量子级联激光器的制备方法,本专利能够直接发射有较高模式纯度的太赫兹矢量涡旋激光,可以实现中空的环状远场光斑,所发射的矢量涡旋光可以分解成携带轨道角动量的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215870205 U
(45)授权公告日 2022.02.18
(21)申请号 202121895398.1
(22)申请日 2021.08.13
(73)专利权人 中国科学院上海技术物理研究所
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