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本实用新型涉及多晶合成领域,具体公开一种液态镓在真空状态下的凝固装置,用于放置封管,封管包括石英帽、石英管,石英帽和石英管焊接固定,焊接处形成焊道,石英管内有氮化硼舟,氮化硼舟置于封管内远离焊道端,凝固装置为用于容纳封管的凝固管,凝固管包括环形管状主体和尾部冷却装置,环形管状主体两端开口,冷却套固定在环形管状主体一端,环形管状主体另一端为开口处,焊道靠近环形管状主体的开口处放置,氮化硼舟置于尾部冷却装置内。在进行水平梯度凝固法合成的GaAs多晶时,使用本实用新型的液态镓在真空状态下的凝固装置,焊
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215887315 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202120532681.1
(22)申请日 2021.03.15
(73)专利权人 广东先导微电子科技有限公司
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