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本申请实施例提供的一种抛光垫的装配装置,包括底座以及对准件,底座具有用于固定抛光盘的固定区域,对准件位于固定区域的边缘,对准件具有固定连接在一起的连接部和对准部,连接部固定在底座上,对准部为抛光垫与抛光盘对准的参照物,通过对准件确定抛光垫的粘贴位置,防止抛光垫粘贴时贴歪,进而导致抛光垫在使用过程中容易破损,且对晶圆的抛光效果较差,甚至会引起晶圆的损伤,由此,本申请实施例提供的抛光垫的装配装置,具有提高抛光垫使用寿命以及抛光效果的优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215881276 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202121606962.3
(22)申请日 2021.07.15
(73)专利权人 长江存储科技有限责任公司
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