基于微波的硅片烘干设备.pdfVIP

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2023-04-20 发布于北京
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基于微波的硅片烘干设备.pdf

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本实用新型公开了一种基于微波的硅片烘干设备，包括：主槽体、滑移盖板、上部进气装置、底部出气装置和微波发生装置；所述滑移盖板滑动设置在所述主槽体的上开口上，所述滑移盖板和所述主槽体共同封闭形成烘干空间，所述烘干空间内放置硅片花篮，所述硅片花篮用于盛放硅片；所述主槽体和所述滑移盖板由金属材料制成，所述微波发生装置在所述烘干空间内产生微波；所述上部进气装置给所述烘干空间提供空气，所述底部出气装置从所述烘干空间抽取气体。本实用新型的有益效果：利用微波烘干，提供高烘干效率进而提高产能，降低电能耗，洁净度高

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215892967 U (45)授权公告日 2022.02.22 (21)申请号 202121193967.8 (22)申请日 2021.05.31 (73)专利权人元能微电子科技南通有限公司