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本实用新型提供了一种镀膜系统,包括腔室结构,所述腔室结构包括传递室和镀膜室;阀门装置,所述阀门装置设置在所述传递室与所述镀膜室之间;试料传递装置,所述试料传递装置设置在所述腔室结构内,所述试料传递装置适于将所述试料从所述传递室传递至所述镀膜室以及从所述镀膜室将所述试料取回;多功能基座,所述多功能基座设置在所述腔室结构内,所述多功能基座包括升降装置、旋转装置和抓取装置,所述旋转装置设置在所述升降装置上,所述抓取装置与所述旋转装置连接。相对于现有技术,通过试料传递装置与多功能基座的配合,提高了镀膜的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215887218 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202121610026.X C23C 16/54 (2006.01)
(22)申请日 2
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