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公开一种填料装置、填料设备和电化学沉积系统，填料装置包括：进料结构，所述进料结构包括第一进料口和第一出料口；容纳仓，所述容纳仓包括第二进料口和第二出料口，所述第二进料口与所述第一出料口连通，所述第二出料口用作所述填料装置的出料口；设置在所述容纳仓上的称重器件，所述称重器件配置为检测所述容纳仓中的物料的重量；传输结构，所述传输结构设置在所述第一出料口与所述第二进料口之间，并配置为将所述第一出料口输出的物料向所述第二进料口传输；控制结构，所述控制结构连接所述称重器件、所述传输结构，并配置为根据所述称
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215887299 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202120527555.7
(22)申请日 2021.03.11
(73)专利权人 京东方科技集团股份有限公司
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