一种二维材料气相制备的装备.pdfVIP

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2023-04-20 发布于四川
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一种二维材料气相制备的装备.pdf

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本实用新型公开了一种二维材料气相制备的装置：特征主要包括加热装置、反应室、气路系统、真空系统、控温系统、衬底表面控制装置、反应物均匀传输部件、样品传递部件。衬底表面控制装置的主要功能是对制备二维材料所需的衬底表面进行处理与改性，反应物均匀传输部件的主要功能是将反应物(前驱体)均匀传输到衬底表面。使用本装备可以获得制备二维材料所需的衬底表面，精准地将前驱体输运到衬底表面，从而获得对二维材料在衬底上的成核密度和生长的控制，实现在大尺寸衬底表面制备高质量的二维材料(薄膜)等。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215887222 U (45)授权公告日 2022.02.22 (21)申请号 202120725897.X (22)申请日 2021.04.09 (73)专利权人浙江大学地址 3