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本实用新型公开了一种刻蚀电极机构，涉及刻蚀机领域，针对现有的大多数刻蚀电极机构连接方式复杂，会增加开腔时间和开腔后气体钝化的时间，从而缩短了放电腔的使用寿命的问题，现提出如下方案，其包括电极帽和电极杆，所述电极帽底端开设有冷却腔，且所述电极杆顶端开设有冷却通道，所述电极帽圆周外壁底端固定安装有第一连接板，且所述电极杆圆周外壁顶端固定安装有第二连接板。本实用新型结构新颖，且该装置能够对电极通道进行密封处理，避免电极漏出的情况发生，提升其安全效率，且拆装方便，提升电极帽及电极杆的安装效率，便于后期对
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215896302 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202122017787.0
(22)申请日 2021.08.25
(73)专利权人 无锡圆诺电子科技有限公司
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