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本申请提供一种承载装置及检测设备。承载装置包括承载件及底座。所述承载件设有承载面,所述承载面设有吸附孔,并用于承载工件,所述承载面软质可变形;所述底座用于安装所述承载件,所述底座设有气孔,所述气孔与所述吸附孔连通,并用于将所述工件吸附于所述承载面。本申请的承载装置及检测设备中,承载件设有承载面,承载面具有软质结构且可变形,工件承载于承载面时,能够保护工件表面的微结构不受损伤,且承载面设有吸附孔,底座设有气孔,连通的吸附孔和气孔将工件吸附在承载面上进行检测,提高检测设备对工件的检测精度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 215896355 U
(45)授权公告日 2022.02.22
(21)申请号 202121124550.6
(22)申请日 2021.05.24
(73)专利权人 深圳中科飞测科技股份有限公司
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