一种直拉法单晶硅生产中的保温装置.pdfVIP

一种直拉法单晶硅生产中的保温装置.pdf

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本实用新型公开了一种直拉法单晶硅生产中的保温装置,包括保温筒主体(1),保温筒主体(1)包括相互配合的外筒体(1a)和内筒体(1b),外筒体(1a)套设在内筒体(1b)的外部,且二者之间形成一个环形空腔(2),环形空腔(2)的底部连有一面相配合的环形底板(3),环形底板(3)上设有一组挡板排孔(4),每个挡板排孔(4)包括一组挡板孔(4a),每组挡板孔(4a)上对应连接一个竖直的挡板(5),挡板(5)的宽度与环形空腔(2)的厚度相配合。本实用新型的优点是能够有效的对炉内的温度进行保温,并且能够减

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215856445 U (45)授权公告日 2022.02.18 (21)申请号 202122496373.0 (22)申请日 2021.10.18 (73)专利权人 包头美科硅能源有限公司

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