基板载具和电化学沉积设备.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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基板载具和电化学沉积设备.pdf

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本申请实施例提供了一种基板载具和电化学沉积设备。该基板载具，包括：承载板，至少一侧用于承载基板，且至少一侧具有导电结构；盖板，包括盖板本体和弹性连接电极；盖板本体与承载板可拆卸连接；弹性连接电极与盖板本体连接，弹性连接电极用于将基板限制于承载板的一侧，并连接基板的导电种子层和承载板的导电结构。本申请实施例提供的基板载具实现了盖板与承载板对基板的柔性夹持，有利于为施加于基板的夹持力提供一定的自适应调节空间，相对于刚性夹持而言，柔性夹持既能为基板提供充足的夹持力，实现对基板的稳定、有效夹持，又能避免

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113882004 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111265856.8 (22)申请日 2021.10.28 (71)申请人京东方科技集团股份有限公司