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本发明提供一种晶圆检测装置，第一/第二连杆的一端共同枢接驱动机构的活动端，另一端对应枢接第三/第四连杆的一端，所述第三/第四连杆的另一端固定连接所述第一/第二滑块及所述第一/第二光电传感器，所述第一/第二滑块均滑动连接线性滑轨，所述驱动机构驱动所述活动端相对于所述线性滑轨垂直进退移动，并带动所述第一/第二连杆，传动所述第三一/第四连杆、所述第一/第二滑块，且连动所述第一/第二光电传感器分别自对应的第一/第二初始位置及对应的第一/第二检测位置间往返移动，从而实现所述第一光电传感器及所述第二光电传感
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113885090 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202111002062.2
(22)申请日 2021.08.30
(71)申请人 上海广川科技有限公司
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