晶圆检测装置.pdfVIP

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本发明提供一种晶圆检测装置,第一/第二连杆的一端共同枢接驱动机构的活动端,另一端对应枢接第三/第四连杆的一端,所述第三/第四连杆的另一端固定连接所述第一/第二滑块及所述第一/第二光电传感器,所述第一/第二滑块均滑动连接线性滑轨,所述驱动机构驱动所述活动端相对于所述线性滑轨垂直进退移动,并带动所述第一/第二连杆,传动所述第三一/第四连杆、所述第一/第二滑块,且连动所述第一/第二光电传感器分别自对应的第一/第二初始位置及对应的第一/第二检测位置间往返移动,从而实现所述第一光电传感器及所述第二光电传感

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113885090 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111002062.2 (22)申请日 2021.08.30 (71)申请人 上海广川科技有限公司

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