高精度平整度检测设备.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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高精度平整度检测设备.pdf

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本发明公开了一种高精度平整度检测设备，包括：工作台、驱动机构和检测头，所述工作台上设置有检测台面，所述检测台面上沿相邻两侧边安装有呈垂直分布的导轨，所述导轨上均安装有若干可滑动的定位组件；所述驱动机构包括相互垂直分布的第一直线模组和第二直线模组，所述第二直线模组固定安装在所述工作台上，所述第一直线模组滑动安装在所述工作台上并位于所述检测台面的上方；所述检测头通过高度调节机构滑动安装在所述第一直线模组上，所述第一直线模组和所述第二直线模组共同配合驱动所述检测头移动对定位在所述产品定位治具内的产品进

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113884030 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111020125.7 (22)申请日 2021.09.01 (71)申请人伟时电子股份有限公司