一种基于电子古斯汉欣位移的界面特性测量方法.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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一种基于电子古斯汉欣位移的界面特性测量方法.pdf

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本发明涉及一种基于电子古斯汉欣位移的界面特性测量方法，包括：S1：选取不同界面特性的定标样品；S2：将电子波包入射所述多个定标样品，在其界面上进行反射并产生古斯汉欣位移现象；S3：测量步骤S2界面反射后的不同输出位置和/或电子古斯汉欣位移；S4：建立界面特性与输出位置和/或电子古斯汉欣位移的对应关系；S5：将电子波包以相同的初始状态入射待测器件，测量在其界面反射后的输出位置和/或电子古斯汉欣位移；S6：将步骤S5测得的输出位置和/或电子古斯汉欣位移代入步骤S4建立的对应关系，确定所述待测器件的界

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113884031 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111087821.X (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人华南