一种可视化测量薄膜应力激光检测系统.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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一种可视化测量薄膜应力激光检测系统.pdf

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本发明公开了一种可视化测量薄膜应力激光检测系统，属于半导体制造和检测技术领域。它包括激光测量模组，所述激光测量模组至少包括一维线性传感器，所述激光测量模组被配置为向晶圆表面发射激光并将晶圆反射的激光照射到一维线性传感器上；采集端，所述采集端被配置为采集一维线性传感器上光幕两端的电流变化；与所述采集端无线通信连接的主控制端，所述主控制端被配置为根据一维线性传感器上光幕两端的电流变化，计算晶圆薄膜应力数据，并根据晶圆薄膜应力数据生成可视化命令；将可视化数据发送到与所述主控制端通信连接的可视化终端实时

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113889423 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111154932.8 (22)申请日 2021.09.29 (71)申请人华东师范大学地址