一种磁悬浮式光刻机掩模台.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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一种磁悬浮式光刻机掩模台.pdf

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本发明涉及光刻机设备技术领域，公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台，其包括基座、微动台、掩模版，基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨，磁悬浮导轨为长条状，两条磁悬浮导轨互相平行，每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽；微动台设有安装位，微动台上表面设有四个上电磁铁，上电磁铁以矩形分布，四个上电磁铁位于矩形四个边角位置，微动台下表面设有四个下电磁铁，下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应，微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间，上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内，驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动；掩模版安装

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113885298 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202111110519.1 审查员周勇 (22)申请日 2021.09.22