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本发明涉及光刻机设备技术领域,公开了一种磁悬浮式光刻机掩模台,其包括基座、微动台、掩模版,基座上表面设有驱动机构和磁悬浮导轨,磁悬浮导轨为长条状,两条磁悬浮导轨互相平行,每条磁悬浮导轨朝向另一磁悬浮导轨一侧设有导轨凹槽;微动台设有安装位,微动台上表面设有四个上电磁铁,上电磁铁以矩形分布,四个上电磁铁位于矩形四个边角位置,微动台下表面设有四个下电磁铁,下电磁铁与上电磁铁的位置一一对应,微动台悬浮于两条磁悬浮导轨之间,上电磁铁和下电磁铁位于导轨凹槽内,驱动机构驱动微动台做多自由度精密运动;掩模版安装
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113885298 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 202111110519.1 审查员 周勇
(22)申请日 2021.09.22
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