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本申请适用于晶圆技术领域,提供了一种晶圆激光修补时的对位偏移修正方法及装置。本申请实施例中获取晶圆的晶圆区域,将所述晶圆区域以预设方式划分目标区域;从所述目标区域中选取目标区块,确定所述目标区块的对位偏移程度;当所述目标区块的对位偏移程度大于预设的偏移阈值时,根据所述目标区块中的预设对位点对所述目标区块进行对位修正补偿;当所述对位修正补偿后的目标区块的对位偏移程度小于或等于预设的偏移阈值时,对所述对位修正补偿后的目标区块对应的目标区域进行激光修补,从而提升芯片良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113903694 A
(43)申请公布日 2022.01.07
(21)申请号 202111078790.1
(22)申请日 2021.09.15
(71)申请人 深圳天狼芯半导体有限公司
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