等离子体光学发射光谱诊断用窗口以及利用其的等离子体装置.pdfVIP

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2023-04-21 发布于四川
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等离子体光学发射光谱诊断用窗口以及利用其的等离子体装置.pdf

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公开了一种等离子体光学发射光谱诊断用窗口。所述等离子体光学发射光谱诊断用窗口，其中，包括：外壳，在两侧具备第一腔室和第二腔室；安装开口，形成在所述第一腔室和所述第二腔室之间的所述外壳的一面，并与用于将来自等离子体腔室的等离子体光露出的开口相面对；观测窗开口，形成在所述安装开口的相反面的所述外壳的另一面，与所述安装开口形成同轴透射所述等离子体的光，并与所述光学发射光谱装置的受光部相连接；观测窗，位于所述外壳中的观测窗开口的内侧；卷绕机和复卷机，设置在所述第一腔室和所述第二腔室中的每一个；以及透明薄

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113892164 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202080039512.2 (74)专利代理机构北京汇思诚业知识产权代理