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公开了一种等离子体光学发射光谱诊断用窗口。所述等离子体光学发射光谱诊断用窗口,其中,包括:外壳,在两侧具备第一腔室和第二腔室;安装开口,形成在所述第一腔室和所述第二腔室之间的所述外壳的一面,并与用于将来自等离子体腔室的等离子体光露出的开口相面对;观测窗开口,形成在所述安装开口的相反面的所述外壳的另一面,与所述安装开口形成同轴透射所述等离子体的光,并与所述光学发射光谱装置的受光部相连接;观测窗,位于所述外壳中的观测窗开口的内侧;卷绕机和复卷机,设置在所述第一腔室和所述第二腔室中的每一个;以及透明薄
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113892164 A
(43)申请公布日 2022.01.04
(21)申请号 202080039512.2 (74)专利代理机构 北京汇思诚业知识产权代理
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