一平动两转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台.pdfVIP

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2023-04-21 发布于北京
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一平动两转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台.pdf

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本发明公开了一平动两转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台，包括定平台，定平台上方间隙设有动平台，定平台和动平台的中央设有透光孔，定平台设有第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元四个驱动单元；四个驱动单元分别顺次顶在动平台下方的四个正交方位上；第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元和第四驱动单元的结构相同，包括固定在定平台上的基座，分别连接在动平台底部和基座上的杠杆组件，施加在杠杆组件上的动力装置;四个驱动单元的结构相同，包括基座第一柔性件、杠杆、第二柔性件和动力装置。本发明在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113880045 A (43)申请公布日 2022.01.04 (21)申请号 202111029592.6 (22)申请日 2021.09.03 (71)申请人宁波大学地址 31